非接觸式晶圓量測儀
MX203 Series
.jpg)
♦ 非接觸式電容感應量測方式
♦ 最小刻度為0.1μm，重覆性誤差0.25μm
♦ 測量時間5 sec./wafer
♦ 可測量Thickness, Flatness, Warp, Bow
♦ 支援Wafer Studio 3D顯示功能
冲成股份有限公司 / JC's Chunson Limited
Tel：+886-2-3234-1279 Fax：+886-3234-7056
Add.：No. 764, Zhong-Zheng Road, Zhong-He, New Taipei City 23586, Taiwan